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關於我們

about us

上海凱世通半導體股份有限公司





       上海凱世通半導體股份公司是一家以離子束技術為核心的集科研、製造於一體的高科技企業,也是國內的全領域賽道離子注入機公司,主要研製、生產、再製造和銷售國際領先高端離子注入機,重點應用於半導體集成電路領域、光伏太陽能電池和新型平板顯示。在集成電路裝備領域,離子注入機應用於摻雜這道工序,具有極高的技術門檻,被譽為皇冠上的明珠。

       上海凱世通公司圍繞國際知名和國家特聘外籍專家,全麵構建人才團隊,專業涵蓋了物理學、半導體技術、材料學、機械工程、自動控製、軟件工程等多個技術領域,將長期致力於具有世界領先水平的重大技術裝備—離子注入機的研發及產業化,實現代表中國自主創新的半導體裝備可持續發展,不斷推進中國製造向中國創造的完美轉變。

離子注入

在半導體晶圓製造中,由於純淨矽的導電性能很差,需要加入少量雜質使其結構和電導率發生改變,從而變成一種有用的半導體,這個過程稱為摻雜。目前摻雜主要有高溫熱擴散法和離子注入法兩種,離子注入占據著主流地位。

離子注入法

通過離子注入機的加速和引導,將要摻雜的離子以離子束形式入射到材料中去,離子束與材料中的原子或分子發生一係列理化反應,入射離子逐漸損失能量,並引起材料表麵成分、結構和性能發生變化,最後停留在材料中,實現對材料表麵性能的優化或改變。離子注入具備精確控製能量和劑量、摻雜均勻性好、純度高、低溫摻雜、不受注射材料影響等優點,目前已經成為0.25um特征尺寸以下和大直徑矽片製造的標準工藝。

開發難度

離子注入機與光刻機、刻蝕機和鍍膜機並稱四大核心裝備,開發難度僅次於光刻機。

用途

按下遊領域分類,目前離子注入機可用於眾多領域,包括集成電路與IGBT製造領域、太陽能電池生產領域、AMOLED麵板製造等。

發展曆程

榮譽資質

發展曆程×
時間節點 關鍵事件 具體內容或經營成果
2022年4月 批量訂單多套設備完成交付 凱世通已向客戶成功交付批量訂單中的多套設備,完成move in 儀式。
2022年1月 首獲重要客戶批量訂單 凱世通12英寸集成電路設備獲得重要客戶批量訂單,包含低能大束流離子注入機和低能大束流超低溫離子注入機。
2021年5月 低能大束流設備客戶驗證通過 凱世通首台低能大束流離子注入機通過國內12英寸主流集成電路芯片製造廠的設備驗證並驗收。
2021年4月 集成電路業務展露鋒芒 凱世通獲2020年度上海市集成電路設備業銷售前十名的榮譽。
2020年12月 商業化進展重大突破 注入機的訂單總額超過1億元人民幣。
2020年9月 低能大束流設備客戶驗證 首台低能大束流設備送入國內主要芯片製造工廠。
2020年10月 獲得iStellar-500 SEMI認證證書 展現了自身接軌國際的的科研能力,為進一步實現技術突破和產品研發奠定了堅實的基礎。
2020年3月 榮獲北京市科技進步一等獎 凱世通的“大束流離子注入機裝備及工藝研發”項目榮獲北京市科技進步一等獎。
2020年9月 成功入選上海市“科技創新行動計劃”項目 凱世通的“集成電路設備射頻電源係統研發與驗證”項目入選上海市2020年度“科技創新行動計劃”。
2020年8月 重大技術突破 凱世通的“大束流離子注入機裝備及工藝研發”項目成功斬獲2019年度北京市科學技術進步一等獎。
2020年5月 北京凱世通半導體有限公司正式成立 “南北並舉”的布局策略顯現,為客戶帶來更加便捷、高效的服務。
2019年12月 集成電路離子注入機遷機成功 IC離子注入機搬進杭州灣潔淨室,進行晶圓驗證。
2019年10月 入選“科技創新行動計劃” 凱世通 “高能離子注入機關鍵技術研究與樣機驗證”項目被上海市科委技術委員會列入集成電路領域立項項目清單。
2019年8月 新產品iPV6000發布 凱世通自主研發的新品iPV-6000成功推出,進一步提升其在光伏市場的競爭力。
2018年8月 竞技宝电竞平台收購凱世通 成為竞技宝电竞平台全資子公司(證券代碼:600641)。
2017年7月 新品iPV-3000發布 凱世通自主研發的新品iPV-3000成功推出。
2017年3月 凱世通股票掛牌成功 2017年3月24日起,凱世通股票在全國股轉係統掛牌公開轉讓。
2016年12月 iPV-2000量產 與泰州中來光電科技有限公司簽訂了設備批量采購協議,真正實現了從研發型企業到生產型高科技企業的成功轉型。
2013年2月 獲批上海市戰略性新興產業重大項目 由上海市發改委和市科委推薦正式進入自主知識產權的AMOLED離子注入機研發。
2012年12月 IonSolar™離子注入機在電池生產線得以認可 基於凱世通的離子注入機及相應的電池製作工藝實現330W電池組件輸出功率代表了行業此類電池的的最高水平。
2012年8月 IonSolar™太陽能離子注入機進入客戶端 凱世通自主研發的太陽能離子注入機IonSolar™進入客戶端產線,進行工藝認證。
2012年1月 獲批市科委成果轉化和產業化項目 作為主承擔單位獲批上海市科委成果轉化和產業化項目,旨在高效晶矽太陽電池用離子注入係統產業化技術開發及應用。
2011年12月 新產品研發成功 具有世界領先水平的太陽能製程用高端離子注入機研發成功。
2011年3月 獲批國家重大科技專項 與電子科技集團48所合作,申請並獲準國家重大專項立項,研發用於集成電路離子注入機的世界先進大束流束線係統。
2011年1月 戰略夥伴增資 獲得美國Amtech公司增資 1億元人民幣,進入太陽能電池製程用離子注入機領域。
2010年6月 盈虧平衡 凱世通盈虧平衡。
2009年10月 戰略合作 與Axcelis戰略合作(世界排名第二離子注入機廠商)研發OHD低能束流的改進。
2009年4月 凱世通創立 由六位世界一流離子注入設備專家創立,共有超過100年研發製造與應用企業的工作經驗。
榮譽資質×
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